プローブ
高精度測定を支える「SmartScan」のアーム先端に装着して使用する専用プローブです。
設計・製造から特性評価までをAPI社内で一貫して行うことで、プローブごとの個体差を抑制し、高い測定再現性と信頼性の確保に貢献します。
「不要輻射ノイズ測定（EMI）」および「局所パルス注入によるESD耐性・電流分布解析（ESD）」向けに、用途や測定対象に応じた最適な先端コンポーネントを選択可能です。
基板およびIC表面から放射される不要輻射（電磁波ノイズ）の発生源を、H界（磁界）およびE界（電界）のコンポーネントごとに分離して測定するための専用プローブです。
課題と導入効果
- 現状の課題高密度基板でのノイズ分離が困難、かつプローブの帯域不足
- 基板の高密度化や高速信号化により、ノイズ源が微細かつ密集し、従来の近傍界プローブでは隣接配線や部品間のノイズを十分に分離して測定できないケースがありました。また、測定器側が高帯域化しても、プローブ自体の周波数特性や感度、放射の指向性が不明なため、ピンポイントに拾いたいノイズを拾えないことがボトルネックとなる場合があります。
- 導入後の効果
- API社のEMIプローブは、微細な先端寸法と高い指向性により、対象箇所の電磁界成分を高い空間分解能で測定可能です。また、広帯域設計により、高速デジタル回路や高周波ICにおける不要輻射ノイズ解析にも柔軟に対応します。さらに、磁界・電界ともにxyプローブを保有しており、電磁界の方向性を可視化することが可能です。
主な特長
- 周波数帯域
10kHz以下の低周波領域から、40GHzを超える高周波領域までカバー - カスタム対応
特定の周波数において感度を高めた狭帯域プローブ（Narrow band probes）などのカスタム製造にも対応
代表的なラインナップと測定コンポーネント（例）
各プローブは、測定対象（ICや配線ピッチ）の寸法や、検出したい電磁界の向きに合わせて最適化されています。
- 磁界（H界）プローブ（X/Y方向成分）
基板配線に流れる電流に起因するノイズを捉えるループ形状のプローブ（代表例：先端サイズ 2mm / 5mm 等） - 磁界（H界）プローブ（Z方向成分）
基板に対して垂直な磁界成分を測定するプローブ（代表例：先端サイズ 4mm 等） - 電界（E界）プローブ［（X/Y方向成分）（Z方向成分）］
電圧変化に起因する電界ノイズを捉えるディスク形状のプローブ
- 詳細な型番や最新の寸法ラインナップについては、随時アップデートされるため、詳しくはお問い合わせください。
静電気パルス発生装置（TLPユニット）と接続し、測定対象の局所領域へ高速パルスを注入して表面電流分布解析を行うための局所パルス注入用プローブです。
課題と導入効果
- 現状の課題空間放射による不要ノイズ結合
- 従来のESD試験（ESDガン等）や一般的な注入プローブでは、パルス印加時にプローブ自体から強い電磁波（空間放射）が発生し、本来の伝搬経路とは異なる箇所へ不要なノイズ結合が生じることで、実際の結合経路や電流分布を把握しにくいという課題がありました。
- 導入後の効果
- API社のESDプローブは、局所注入効率と不要な空間放射の低減を両立する構造設計により、周囲への不要なノイズ結合を抑えながら、狙ったピンや配線へ過渡電流エネルギーを局所注入し、より再現性の高い表面電流分布解析を支援します。
主な特長
- 空間放射の抑制
パルス印加時の不要な電磁波放射を抑え、狙った箇所への局所注入を実現 - 表面電流分布解析
注入されたパルスエネルギーが回路内をどのように伝搬・分布するかを、時間変化とともに解析・可視化
代表的なラインナップと測定コンポーネント（例）
パルスを注入する対象（ICのピンピッチ、ビア、または微細な配線幅）の寸法や、回路構造に合わせて最適化されたラインナップが用意されています。
- 極小ピッチ用ESDプローブ（微細回路向け）
密集したICリードや高密度実装エリアへの局所注入に対応する極小先端モデル - 標準配線用ESDプローブ（基板・パターン向け）
基板上の一般的な配線パターンや、コネクタピン等へ安定してパルスを印加するための標準モデル
- 詳細な型番や最新の寸法ラインナップについては、随時アップデートされるため、詳しくはお問い合わせください。
本ESDプローブを用いた自動測定・エラー監視の仕組みや、システムが提供する高度な解析機能の詳細等は、「TLP / FD」にてご紹介しています。
プローブに関するお問い合わせ
- 実際のプローブ先端寸法や指向性（EMI/ESD）の仕様を確認したい
- 手持ちの測定器（オシロスコープ等）や既存評価環境との組み合わせ可否を相談したい
- 測定対象（高密度基板やICピン）への適用可否を検証したい
…など、お気軽にお問い合わせください。
お客様の測定対象や評価目的に応じた、最適なプローブ構成をご提案いたします。
- 詳細な型番、最新の寸法ラインナップ、および各プローブの特性評価データは随時更新されています。詳しくはお問い合わせください。